Liqui-Cel

MICROÉLECTRONIQUE / ECRANS PLATS

Microelectronics

Dossiers Techniques

TB 17: Carbon Dioxide Removal from Water
Understand the chemistry of CO2 removal from water with degassing contactors.

TB 19: Amélioration de la qualité de l’eau en sortie d’OI et de système EDI
CO2 removal from water with Liqui-Cel® Contactors improves performance of RO-EDI systems.

TB 46: Membrane Contactors Improve EDI Performance
Liqui-Cel® decarbonators are commonly used to remove CO2 after RO and prior to EDI for enhanced performance.

TB 72: Chinese Chemical Plant Optimizes Water Treatment with Liqui-Cel® Contactors
This case study describes how a chemical company replaced their double pass RO system with RO+Liqui-Cel to Optimize their process.

TB 68: Chemical Cost Comparison LC vs. Traditional Deaeration System
This technical brief details the process a company goes through when weighing the operating costs and performance of different degassing systems.

TB 44: Precise Control of Dissolved O2 and N2
Precise Control of O2 and N2 gasses in Semiconductor wafer cleaning applications.

TB 33: Oxygen Removal from Water to 3 ppb at IMEC
Semiconductor research facility utilizes Liqui-Cel® degassing contactors for 3 ppb O2 removal from water.

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Plus d’Info

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L'industrie de la microélectronique emploie des contacteurs membranaires Liqui-Cel® depuis plus de 15 années pour éliminer l'oxygène et le CO2 de l’eau déminéralisée utilisée lors de la fabrication des wafers de semi-conducteur. Les contacteurs Liqui-Cel peuvent facilement abaisser l'oxygène dissous jusqu’à 1ppb et le CO2 jusqu’à 1ppm.

Les wafers de semi-conducteur et les écrans plats subissent un traitement en plusieurs étapes. Après le traitement de chaque couche, les résidus sont lavés à l’eau ultra-pure. Les gaz dissous éventuellement présent dans l’eau pourraient générer des défauts de surface dans les wafers.

Les EDI et CDI sont devenus une technologie commune d'échange ionique dans l'industrie des semi-conducteurs. Ces technologies fonctionnent plus efficacement si le CO2 dissous est extrait de l'eau en amont. Un excès de CO2 dans l'eau chargera l’EDI et nécessitera un surdimensionnement de l’installation. De plus la charge en CO2 détériore la teneur en silice et en bore en sortie d'EDI/CDI.

Les contacteurs Liqui-Cel sont devenus le standard de décarbonatation dans la microélectronique et l'industrie des écrans plats car ils sont propres, permettent d’atteindre des niveaux d’oxygène très bas, et ne détériorent pas la qualité de l'eau. Ils présentent 10 fois la superficie active d’un désaérateur sous vide, les rendant compactes afin de pouvoir être placés pratiquement n'importe où dans un bâtiment. À la différence des tours de vide, ils sont modulaires et leur nombre peut être augmenté pour s’adapter aux changements des caractéristiques de l'usine. Si les débits d'eau se développent ou les spécifications de l'oxygène deviennent plus drastiques, des contacteurs supplémentaires peuvent être ajoutés à un système pour répondre aux besoins.

Les contacteurs membranaires ont été bien accueillis dans ce domaine industriel depuis plus de 15 ans.